哪家可以离子束溅射镀氧化铝膜?

ferry · *发表于* 2008-8-18 17:16:13

哪家可以离子束溅射镀氧化铝膜?想用这种方法做下氧化铝膜.
另:
谁用vecco的spector精密光学沉积系统啊,想了解下这种设备.

xbimr · *发表于* 2008-8-18 22:57:32

氧化铝直接溅射方法也可以做看你什么要求了

ferry · *发表于* 2008-8-19 17:51:51

要在很大一个半球面上镀氧化铝膜,主要要求是膜层硬度要高,(用刀片划时无明显划痕.)另外,膜层均匀性要好.吸收不能高.
应用谱段在可见光和中红外(0.4----6um)
楼上可以做吗?

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