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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 铝膜发黑是什么原因

[讨论] 铝膜发黑是什么原因

 火...
7.9k 12
发表于 2011-12-23 19:38:37|湖北 | 查看全部 阅读模式
最近做这个膜  老是发黑   是什么原因啊  我是的是用电子枪蒸发   石墨坩埚进行蒸镀    温度100度   速率还行   我现在分析可能是我的速率还不够快  我的真空度是1.7*10-3pa  谢谢大家 给点思路     
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回复|共 12 个

coaterxf Lv.8 发表于 2011-12-28 15:56:55|上海 | 查看全部
速率要到6nm/Sec以上。
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xiao2011 Lv.8 发表于 2011-12-28 16:38:55|广东 | 查看全部
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xiaojiang007 楼主Lv.8 发表于 2011-12-30 19:28:33|湖北 | 查看全部
问题解决了  改用石墨坩埚.加快蒸发的速率   就可以了   感觉速率很重要  
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缘睐汝痴 Lv.9 发表于 2012-1-10 18:35:16|江苏 | 查看全部
学习了
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gxfdllg Lv.8 发表于 2012-3-15 14:34:31|广东 | 查看全部
看下材料是不是老料太多及时更换新料，监控是不是有效监控材料的实际厚度，镀膜真空度变化大不大！
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diaodiao315 Lv.7 发表于 2013-2-18 17:13:48|广东 | 查看全部
学习学习，以后验证下！再问石墨坩埚的使用情况、寿命的情况是啥子样子？
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chao_li0622 Lv.7 发表于 2013-2-21 09:47:00|广东 | 查看全部
学习
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linna9222 Lv.4 发表于 2013-6-19 11:12:11|河南 | 查看全部
温度100度？不高吗？
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wugaoling688 Lv.2 发表于 2013-6-24 12:40:11|广东 | 查看全部
速率很重要  
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maray Lv.8 发表于 2013-6-25 17:01:10|广东 | 查看全部
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SKY520 Lv.6 发表于 2013-7-7 23:31:11|湖南 | 查看全部
学习中
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