求助能否通过增加铝丝直径达到减少飞溅的效果

samurai_sc · *发表于* 2008-11-11 22:46:31

RT 我是做真空蒸镀的镀铝膜产品的铝层厚度要求3.2OD，在蒸镀过程中容易出现飞溅现象，现在用的铝丝直径是1.6mm 如果增加到2.0mm是否能减少飞溅出现的几率，毕竟降低了送死速度，只是增加了瞬时接触面积。
大哥们谁有经验给讲讲吧飞溅害死人啊

jhxxmlhk · *发表于* 2008-11-12 09:57:33

缠绕在钨绞丝上用阻蒸镀撒！

zzzz · *发表于* 2008-11-12 10:10:16

先弄清为什么会溅?
如果你1.5会溅,那2.0也不能避免

samurai_sc · *发表于* 2008-11-14 18:44:40

我的产品要求是 40nm的厚度产生飞溅的原因就是蒸发舟上的待蒸发铝液比较多用的是esktapy4的蒸发舟功率已经加到机器的极限了

yzhuang · *发表于* 2008-11-14 21:18:27

铝用钨丝蒸应该没什么问题

molang2003 · *发表于* 2008-11-14 23:43:43

不知道你在预熔铝丝时用挡板没？及有可能在预熔铝丝时铝点飞溅到零件基底上了呢？

zzzz · *发表于* 2008-11-17 10:22:28

AL的熔点不高怎会用到上限了呢?
老观点,预溶好.

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