光纤光谱仪在玻璃镀膜测试中的应用

此套检测系统基于tec5 MultiSpec 光学系统，并使用Zeiss MCS 光谱
模块以及氘灯/ 卤素灯 通透光源，覆盖光谱范围200-1000 nm。此系统
配有特殊工艺设计的光学检测模块，以实现平面样品在毫秒范围内进行
入射角在0° 或45°的透射测量和0° 以下范围的反射测量。由于薄膜层
厚检测是持续进行的，所以在检测过程中每天都会使用特殊的锆薄膜作
为测试样品以检测系统的稳定性，并保证系统的重复性在薄膜检测中保
持在好于 ± 1nm 之内。
小型的薄膜样品可以放置在检测室的样品载体内。在产品的过程控制检
测中，更要保持大面积的检测样品无损坏。我们使用一种特殊的设计以
实现将方框的样品直接插入缝隙内检测。