PECVD-400型等离子辅助化学气相沉积系统操作规程

1.首先观察“报警选择”处于报警
2.充气：（1）打开普N2瓶上全开总阀，分压阀。
        （2）打开浮子流量计。
        （3）打开仪器上的普N2充气阀。
有进气声，充满后（进气声停止）同时观察到仪器缝变宽。
3.“报警选择”打到“断水”打开仪器（左侧柜）“总控制电源”同时观察到电源“A”，“B”，“C”灯亮。
4.“报警选择”打到“断水”打开仪器（右侧柜）“总控制电源”同时观察到报警灯闪烁，电源“A”，“B”，“C”灯亮。
5. 升降电机选择“升”，边升边观察钟罩边缘线等。
6. 放样品。
7. 升降电机选择“降”，降钟罩，看边缘对齐。
8. 手动关普N2气瓶总阀，分压阀，浮子流量计和仪器上的N2充气阀。
9. 按下机械泵“启动”，按下罗兹泵“启动”，按下罗兹泵电磁隔断阀Ⅰ，手动开手动蝶阀（转90度使线水平）
10. 开左侧柜真空计
11. 接通冷却水电源（墙上），启动冷却水，水温小于20 0C(可调)，将左右柜上的“报警选择”都打到“报警”（上档）。
12. 打开分子泵电源“ON”按下Strat启动分子泵，等分子泵读数稳定为400.
13. 观察真空计读数低于5Pa。
14. 关手动蝶阀（转90度使线竖直）。
15. 开左侧柜分子泵电磁阀Ⅱ.
16. 开手动闸板阀到底再回来（18圈）
17. 按下左侧柜“加热”功率限制4点，设定加热温度，再按STEP和△按校准钮选择温度，再按ENT确定。
18. 等待温度稳定，到真空度为5.4*10-4Pa。
19. 打开左侧柜流量显示仪电源到“通”，质量流量计预热，准备通气。
20. 关手动闸板阀，关分子泵，关右侧柜分子泵电磁隔断阀Ⅱ，开手动蝶阀（90度使线水平）。
21. 如果用射频确认“射频线接到仪器上，开射频电源：开灯丝开关，开板压开关，预热3~5分钟，准备通气。
22. 开复合真空计，开下面薄膜真空计。
23. 清洗气路：气瓶拧紧（1）开手动截止阀（开2圈），（2）再开Dci（i=123…6）。开流量计到“清洗”位置，（3）打开柜上电源开关。（4）开气路气柜Vi. 看流量计显示为零，再相应流量计打到“阀控”，关DCi，再开另外一路Vi流量计到到清洗DC，观察流量计到零，关DCi。
24. 开气瓶（开总阀，分压阀。
25. 通气，质量流量计上调节流量，待通气稳定，慢调手动蝶阀，看薄膜真空计读数到自己需要值14Pa。
26. 开射频（确认是否处于零），加板下调至0.5KV，调驻波比（C1调节和C2调节同时使用，使入射最大反射最小【量程（W）选在200/40】，使处于1.7线以下。自稳压稍低于0.24KV。
27. 加偏压，根据自己的实验值电流0.04A电压0.52KV
28. 开生长
29. 生长完毕
30. 调节射频板压到零，关板压开关，关灯丝开关。
31. 关沉底加热，按STEP调至室温按ENT确定，同时功率限制归零，等待冷却。
32. 关偏压（先降再关），
33关气源（关气瓶：关总阀，关分压阀），同时将所有气体流量计打到“清洗”档，将蝶阀开到最大，看质量流量计读数为零。
34. 再打开复合真空计，关薄膜真空计，观察复合真空计读数小于5Pa。
35. 关手动蝶阀，开分子泵电磁隔断阀Ⅱ，开手动闸板阀，抽至9.4*10-4Pa，关复合真空计。36. 关相应Vi，质量流量计，Dci，手动截止阀，观察到真空上升为3.8*10-4Pa.
37. 关手动闸板阀，按下分子泵Stop，关罗兹泵，关罗兹泵电磁隔断阀Ⅰ，等待分子泵停止下来，读书为零，关分子泵电磁隔断阀Ⅱ。最后关机械泵，关冷却水，报警选择打到“断水”关闭总控制柜电源。