窄带滤光片设计

ghtzna · *发表于* 2011-6-25 16:00:30

求高手指点设计膜堆，使用TI/SIO2靶材

yin99 · *发表于* 2011-6-26 19:32:38

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wazxq · *发表于* 2011-6-27 13:20:37

不知道楼主的具体要求，看楼主贴图曲线这个明显不是三腔可以达到。
还是贴出具体要求的好

ghtzna · *发表于* 2011-6-28 16:47:52

wazxq 发表于 2011-6-27 13:20
不知道楼主的具体要求，看楼主贴图曲线这个明显不是三腔可以达到。
还是贴出具体要求的好

T50= 左825 右875NM
带宽基本在50NM，截止深度OD3 或OD2 在750-800nm 900-1000NM 1001 -1100 nm T(AVG) <1%
其余可见光截止即可
目前主要是设计问题，带宽不好找适当的膜堆。求高手了

liguang · *发表于* 2011-6-29 22:37:28

高手啊

xiaolan125 · *发表于* 2011-6-30 17:04:51

高手

wazxq · *发表于* 2011-6-30 22:15:21

本帖最后由 wazxq 于 2011-6-30 22:17 编辑

这个至少要用5cavity ,

不过以这个实际情况用35-40层的膜去优化更好，主要看用什么设备来实现

sery1234 · *发表于* 2011-7-1 08:41:06

关注中，

ranguangpu · *发表于* 2011-7-2 10:33:09

继续顶啊，学习学习

ghtzna · *发表于* 2011-7-2 13:38:52

wazxq 发表于 2011-6-30 22:15
这个至少要用5cavity ,

不过以这个实际情况用35-40层的膜去优化更好，主要看用什么设备来实现

使用的光驰机台，调试的过程中还发现HB 800 基板表面容易氧化，镀完膜后拉膜脱膜。
真希望用D263T基板，但是客户指定的哈
努力改善中

filmokay · *发表于* 2011-7-3 10:14:05

本帖最后由 filmokay 于 2011-7-3 10:15 编辑

光驰机也可以装靶材了？
还是把要求写下来，看你贴的图里面好像是很多杂峰(截止带).

ghtzna · *发表于* 2011-7-3 10:22:45

filmokay 发表于 2011-7-3 10:14
光驰机也可以装靶材了？
还是把要求写下来，看你贴的图里面好像是很多杂峰(截止带).

T50= 左825 右875NM
带宽基本在50NM，截止深度OD2 在750-800nm 900-1000NM 1001 -1100 nm T(AVG) <1%
其余可见光截止即可
光驰机台离子镀啊，靶材就是药材了，可能叫法不一样

[技术] 窄带滤光片设计