蒸镀ti3o5加氧与不加氧

fawang · *发表于* 2006-11-27 03:14:00

蒸镀ti3o5加氧与不加氧

有的AR膜层蒸镀时,第一层不加氧,而第二层却加氧,TI3O5本来就缺氧,不就有吸收了吗,为什么还不加氧呢?这是设计上的原因还是工艺上的呢?
望各位大侠指点!

洪峰 · *发表于* 2006-11-27 18:17:00

第一层由于材料放气真空度一般比较低，也就是有一定的氧气量在里面，所以就不用充氧了，，，个人认为是这样的，，，，不知道对不对

zzzz · *发表于* 2006-11-27 23:37:00

当然不能这么理解了

这种AR膜的工艺有点奇怪,能否说详细点.

fawang · *发表于* 2006-11-29 07:45:00

我只知道第一层非常薄,加氧就厚一些

kuan · *发表于* 2006-12-6 01:31:00

蛮奇怪的应用方式, 有经验大大说明一下

meilirensheng · *发表于* 2011-7-19 20:26:55

E501559 · *发表于* 2011-7-20 11:29:28

工艺设计问题

xiazg · *发表于* 2011-7-21 12:46:59

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xiazg · *发表于* 2011-7-21 13:07:10

晶振片制造专家 -----嘉兴晶控电子有限公司

嘉兴晶控电子有限公司坐落于浙江省嘉兴市余新镇镇北路23号，厂房面积7600平方米，员工100人，是一家专注于石英晶振片研发、生产和销售的科技企业。
JJK创建于2000年2月，主要业务是49U压电石英晶片的生产和销售。2002年JJK逐步进入石英晶体振荡式传感器行业，主要产品为石英晶振片和石英晶体微太平。2005年，JJK成为了美国著名晶振片企业的晶振片基片配套企业。2008年，JJK引进美国真空镀膜机和检测设备。自主研发生产石英晶振片，并拥有自己的JJK品牌。主要有金，银、合金，5MHZ\6MHZ等18种规格的石英晶振片。品质稳定、价格合理、交货及时、服务周到，深受国内外客户的青睐。产品适用于光学、光电、LED 、半导体等行业的镀膜监控，可完全替代进口的晶振片。
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warison · *发表于* 2011-7-25 16:59:57

加氧是必须得加的

*发表于* 2011-7-31 12:47:45

加氧的

cgzsad0432 · *发表于* 2011-7-31 14:25:08

这是工艺设计的，一般第一层时真空度达不到设定的要求的，而且电子枪在低真空下容易击穿，所以不加氧比较好，

蒸镀ti3o5加氧与不加氧

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