镀膜后的面形

chenchen · *发表于* 2008-12-15 11:41:12

现在镀膜对面形有较高的要求，镀膜后面形肯定会有变异，但有方法控制面形的变异吗？

shjygx · *发表于* 2008-12-15 12:30:27

基底面型尽量好点，膜层数尽量少些

mangovc · *发表于* 2008-12-16 11:26:56

面型的变化主要是由于膜层的应力引起的，最好能选择使用张应力和压应力匹配交替的膜系，要不选择进行退火处理。

fql3310 · *发表于* 2008-12-18 22:41:06

如果膜厚没办法加薄的话，可不可以用厚的基片拿去镀膜，然后再拿去切割。这里对应第二面镀增透膜，如果不是增透膜的话我看也可以试看看。

jiayuch · *发表于* 2008-12-27 00:07:38

薄膜应力在某些时候确实让人头疼

森林小树 · *发表于* 2008-12-27 09:16:00

尽量减小应力，层数少些。

chenchenchen · *发表于* 2008-12-27 15:14:45

尽量减小应力，层数少些。

蜘蛛人 · *发表于* 2008-12-29 07:55:59

镀膜后能测出面型吗？？？

zzzz · *发表于* 2008-12-29 08:11:30

当然能了
用干涉仪了

ligciomp · *发表于* 2009-1-6 17:09:02

我们在这方面有一定经验,详情咨询lig@dicp.ac.cn

jiayuch · *发表于* 2009-1-6 19:30:51

形变大了用干涉仪测不出来就用平晶

chenchenchen · *发表于* 2009-1-7 14:36:13

如果使用的是非镀膜面可以镀后抛光.
也可以是两面镀膜.
退火是个有效的方法.

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