膜层老是脏，咋个回事呢

jixiaoming · *发表于* 2009-7-31 14:33:02

最近镀二氧化硅都脏，咋回事

zzzz · *发表于* 2009-7-31 15:21:23

脏
卫生没做好???????????????????

*发表于* 2009-7-31 17:08:24

机器密封方面不好了估计

山村野夫 · *发表于* 2009-7-31 19:34:34

到底是膜上层还是膜下层，要具体问题具体分析

山村野夫 · *发表于* 2009-7-31 19:36:48

是膜上尘还是膜下尘？

候鸟 · *发表于* 2009-8-1 23:33:18

基片没清洗干净，真空室有异物，偶以前也遇到过这种现象。

longmin · *发表于* 2009-8-2 10:20:39

如果膜上就可能艙體髒洩氣時造成的
如果膜下就可能鏡片清潔不足或是霉

*发表于* 2009-8-8 22:28:19

不知道

gxbm · *发表于* 2009-8-9 10:14:03

注意坩埚周围。。

gxbm · *发表于* 2009-8-9 10:14:12

注意坩埚周围。。

jiayuch · *发表于* 2009-8-9 10:16:09

用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？

jiayuch · *发表于* 2009-8-9 10:23:26

用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？

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