[讨论]镀膜设备中电子枪的位置问题

wangjg8955 · *发表于* 2011-8-18 21:38:22

学习了！

ghtzna · *发表于* 2011-8-20 16:27:14

应该和电子枪关系不大先从清洗找原因吧

wangjg8955 · *发表于* 2011-8-22 20:35:17

学习了！

monggugi · *发表于* 2011-9-7 10:51:34

路过学习下

Jimmy_tang · *发表于* 2011-9-8 10:30:18

均匀性和牢固度应该是由坩埚的位置及离子源导致的吧？电子枪的位置再怎样也是打在坩埚内的，我想它不是造成伞差的问题才是。不过，电子枪是否会引入其它杂质（例如说Na），导致镀膜失败，我就不知道了。

cxm05371 · *发表于* 2011-9-20 21:52:37

曲终人散 · *发表于* 2012-2-3 11:05:12

怎么会和电子枪位置有关系呢？不懂

曲终人散 · *发表于* 2012-2-3 11:05:24

怎么会和电子枪位置有关系呢？不懂

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