楼主: hngyc

膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象

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发表于 2004-3-26 17:54:00 | 显示全部楼层
坩锅裂掉是因为你的坩锅跟水冷系统接触不好,
发表于 2004-3-26 17:59:00 | 显示全部楼层

建议用石墨坩埚。不过还要有些技巧。ebxbo@ntu.edu.sg

发表于 2004-3-26 18:01:00 | 显示全部楼层

建议用石墨坩埚。还要有些技巧。ebxbo@ntu.edu.sg

发表于 2004-3-30 00:09:00 | 显示全部楼层

如果用電子槍蒸發SiO時,需要將功率調整到相當的小,以我的經驗而言,初期電子槍的功率約是預熔塊狀TIO2的1/7,然後在逐漸增加電子槍功率到1/4(這需要慢慢的增加,不然就如同您的經驗一樣,SiO都從坩堝中跳出),一直到Shutter打開之前, 以上僅是我個人經驗.........僅供參考.........謝謝..........另外,哪位朋友可以告知SiO哪裡買?我的聯絡方式為 jacob.cheng@msa.hinet.net.......非常的感謝您

发表于 2004-6-15 06:17:00 | 显示全部楼层

回复:(hngyc)膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象...

不知还可用石墨坩埚来蒸SiO,有何些技巧? 钨舟,钼舟,或钽舟是否更好? 那种最好?

谢谢,

Dark

发表于 2004-6-15 20:42:00 | 显示全部楼层

石墨坩锅要比氧化铝坩锅耐热,SIO,SIO2熔点都不高,枪的功率一定慢慢的增加,要看清束斑的位置

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