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LN晶体镀膜出现的斑、印迹、点子问题？

回复|共 14 个

lczhy00001 Lv.12 发表于 2004-7-23 00:06:00|浙江 | 查看全部
以下是引用zz在2004-7-16 8:09:38的发言： 对啥？那啥是手工清洗不掉的？？

手工什么都清洗的掉,不过表面就完了.

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lczhy00001 Lv.12 发表于 2005-7-8 19:13:00|浙江 | 查看全部
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brucelee80 Lv.8 发表于 2005-8-19 04:13:00|江苏 | 查看全部
有可能是溅射时候的功率过高造成的，也可能是靶材中毒造成的。可适当改变制程参数，另外跟清洁度很重要。
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