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楼上的几位说的在点子上了。
我觉得你的斑、印迹应该是你清洗的问题,最经典的方法是先用丙酮,然后是甲醛和去离子水清洗;最后用氮枪吹干。之后放在炉子里完全烘干。
LN本身容易带静电就容易吸灰尘,如果解决静电问题那光洁度会好很多。
酒精乙醚1:1效果也很好。
一派胡言!
LN晶体材料最好的清洗办法是
!\人工清洗
先用高锰酸钾和浓硫酸清洗,然后用DI水超声,最后用酒精脱水.
2\机器清洗
高锰酸钾和浓硫酸清洗,然后用DI水超声,在清洗槽中用热氮气吹干\甩干!
用手清洗是清洗不掉的,我公司专门生产LN晶体和加工器件的,这是最好的清洗办法,连美国佬也是这种工艺!
乙醚麻醉作用。不能人工清洗晶片。
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