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下面引用由Portia在 2003/07/30 04:28pm 发表的内容：
是啊，适用的才是最好的！
对了，cotou，现在的离子源一般都是双灯丝结构的，而且可以自动监测灯丝工作状态，并可自动切换，也就是当现用灯丝出问题时离子源自动切换到另外一根灯丝。
当然长期工作后，离子源肯　...

个人认为，

如果是短时间，要求精度不高，阴极灯丝外露是不错的方式
更换的速度快，
又可以直接看到一些现象，对镀膜工艺的提升一定有帮助

当精度要求高时，
外露的灯丝，可以再视为一个热源，会造成开始和结束镀膜时温度的变化
长时间时，外露的灯丝也会有镀膜材材长在上头
连续长时间工作的时间可能也不是很长？(印象中，单一灯丝10多hr？) 以前有连续镀超过60hr，以这样的要求恐怕会有些问题。

APS的离子源不行，
污染比较重而且还要找他变化的参数，
我比较看重日本的机器。

DENTON的冷阴极离子源
用过这离子源，但要镀上百层的膜层怕是不行，通常我们每镀一次，下次总得换新的灯丝（当然，用的国产灯丝）。不过，倒是没有出过什么毛病，几乎没有修过。