求助！为什么膜会裂？

wazxq · *发表于* 2003-11-20 19:10:00

退火处理能消弱应力吗？

我看还要看镀膜方式，离子辅助和溅射

carry · *发表于* 2003-11-29 23:56:00

[100]可能是温度太高了，
适当降温就ok了

hongfaz · *发表于* 2003-12-1 17:00:00

应该是应力

likeoe · *发表于* 2003-12-1 20:39:00

如果是时间隔久了，也要小心退火，要裂的!一般这种两面的膜层数都很多的膜，要么做完第一面马上就做第二面，要么做完第一面后马上放到干燥器里，小心水汽!放的时间也不能太久，几天就算够长了，再镀第二面。

ic5 · *发表于* 2003-12-1 22:20:00

如果是镀截止滤光片都会出现崩膜的现象，我认为主要是外界的因素！
如果每次都会出现这样的情况，请从工艺参数考虑：温度、离子源参数、真空度等
如果偶尔出现这样的情况，请从过程做作考虑：如工件的清洁、真空室的清洁、真空泵有无异常等。

*发表于* 2003-12-3 16:04:00

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可能是温度太高了，
适当降温就ok了
直100？？？？？

sofa88888 · *发表于* 2003-12-4 02:05:00

退火也是一个解决薄膜应力的一种方法

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