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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 求助！为什么膜会裂？

求助！为什么膜会裂？

回复|共 18 个

wazxq Lv.10 发表于 2003-11-20 19:10:00|广东 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

退火处理能消弱应力吗？

我看还要看镀膜方式，离子辅助和溅射
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carry Lv.2 发表于 2003-11-29 23:56:00|浙江 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

[100]可能是温度太高了，
适当降温就ok了
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hongfaz Lv.9 发表于 2003-12-1 17:00:00|广东 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

应该是应力
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likeoe Lv.2 发表于 2003-12-1 20:39:00|美国 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

如果是时间隔久了，也要小心退火， 要裂的!一般这种两面的膜层数都很多的膜，要么做完第一面马上就做第二面，要么做完第一面后马上放到干燥器里，小心水汽!放的时间也不能太久，几天就算够长了，再镀第二面。
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ic5 Lv.12 发表于 2003-12-1 22:20:00|江苏 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

如果是镀截止滤光片都会出现崩膜的现象，我认为主要是外界的因素！
如果每次都会出现这样的情况，请从工艺参数考虑：温度、离子源参数、真空度等
如果偶尔出现这样的情况，请从过程做作考虑：如工件的清洁、真空室的清洁、真空泵有无异常等。
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315 Lv.8 发表于 2003-12-3 16:04:00|吉林 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

（此贴售价 100 光电币，目前已有 1 人购买）

可能是温度太高了，
适当降温就ok了
直100？？？？？
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sofa88888 Lv.7 发表于 2003-12-4 02:05:00|辽宁 | 查看全部

求助！为什么膜会裂？

退火也是一个解决薄膜应力的一种方法
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