请教，为什么只有部分片子的膜裂？

bessie0151 · 发表于 2003-9-19 05:49:00

请各位帮忙解释一下，为什么我们做的高反膜出现膜裂现象，但是不是所有片子都发生这种现象，只有一部分，而且位置分布没有可寻找的规律！
谢谢！

ic5 · 发表于 2003-9-19 19:49:00

这可能和膜层的应力有关系。

bessie0151 · 发表于 2003-9-19 23:26:00

我也认为跟应力有关，但为什么不是所有的都有膜裂现象呢？

Jesus · 发表于 2003-9-19 23:40:00

大家一般做HR都用什么高低折射率的材料应力匹配比较好啊？
说来听听？

bessie0151 · 发表于 2003-9-20 01:40:00

用了。还使用了烘烤。

bessie0151 · 发表于 2003-9-26 18:49:00

这个问题不知道谁能帮忙提供点线索应该如何解决？多谢了！

snebur · 发表于 2005-2-5 00:08:00

开门放气是否温度太高了！

zz · 发表于 2005-2-5 00:11:00

你的跟踪是否同一位置的产品都裂了?

zjtzzg · 发表于 2005-2-6 00:23:00

是否是部分基片表面没处理好？