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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

回复|共 12 个

67866110 Lv.7 发表于 2005-4-6 11:13:00|广东 | 查看全部
回ahcg：没有用离子源，有没有其它解决方法？跟充氧量有关吗？



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没有用离子原源，有办法解决，跟充氧量有一定的关系。没有离子源解决办法，楼上几位都说到了，加大电子枪电流。调整充氧量，还有你查查你的膜厚临控系统看看是否存在问题。
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zz Lv.10 发表于 2005-4-6 19:32:00|广东 | 查看全部

速率和离子源有啥关系?该不会是指离子能量太强, 把蒸发上去的都给打出来了吧.

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