请问增加充氧是否可以增加膜层的牢固度呢？

tju_dong · *发表于* 2005-2-16 03:15:00

这么多评论~我觉得也是应力太大，造成膜裂

*发表于* 2005-4-7 00:38:00

膜层牢固问题与多方面有关:比如说,膜料,基片(包括基片的材质,清洁度)

light_0405 · *发表于* 2005-4-15 00:05:00

沉积温度和沉积速率和真空度对应力都有影响，但不同的膜料影响规律不一样，有的膜料表现张应力，有的表现压应力，并且随工艺因素的改变有张应力和压应力之间的转变，建议你针对你的材料做对比实验，找到合适的条件。

缘睐汝痴 · *发表于* 2011-10-16 21:17:18

学习中

mfsw123 · *发表于* 2011-10-19 06:25:39

我们厂做的都是加温的啊 AL3O2+H4+MGF2
你们讨论的我都不懂！！还有不加温的，那位大虾能介绍一下吗？

mfsw123 · *发表于* 2011-10-19 06:28:51

mfsw123 发表于 2011-10-19 06:25
我们厂做的都是加温的啊 AL3O2+H4+MGF2
你们讨论的我都不懂！！还有不加温的，那位大虾能介绍一下吗？

丢人了

是 AL2O3+H4+MGF2

逐梦者 · *发表于* 2011-10-25 12:02:25

恩，学习了。虽然到最后还是不太懂！

haitao1573 · *发表于* 2011-10-27 22:33:01

长了见识

xiao2011 · *发表于* 2011-11-3 19:42:39

jiahao1985312 · *发表于* 2011-11-4 15:24:33

是啊，不知有没有前辈实际做过这个实验？不开离子源，只是充不充氧，膜层牢固度，折射率会有差别吗？？
忘前辈指点

xingmengwuheng · *发表于* 2011-11-5 23:31:35

这个可以去做几组对比实验的，再对实验结果作分析

yuliang518 · *发表于* 2014-11-4 05:27:44

这样的要讨论好啊，

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