SIO2 速率不稳定

qs2784 · *发表于* 2013-6-10 11:43:41

你的腔体真空度稳定吗真空不稳定也会影响成膜速度

ghtzna · *发表于* 2013-6-10 14:52:53

game ratio 设置，预融电流过低在镀膜前没达到合适的参数

宇宙深处 · *发表于* 2013-6-24 11:23:14

这种情况PID问题比较大一点。当然你刚才说的几个方面也是造成这种现象的原因。可能你还是要在这几个方面仔细再分析。至于膜材只要是正常的市面上的都没有太大的问题。

rollo_tomasi · *发表于* 2014-1-13 16:45:29

1、膜料添加时要保证表面平整，别坑坑洼洼
2、如果速率规则的起伏，且起伏周期稳定，那就是PID的问题，需要调整
3、开挡板瞬间速率窜高，说明的你预蒸发功率太大，需要降低
4、确保枪灯丝稳定，不要出现打火

bluesun · *发表于* 2014-1-28 14:02:57

rollo_tomasi 发表于 2014-1-13 16:45
1、膜料添加时要保证表面平整，别坑坑洼洼
2、如果速率规则的起伏，且起伏周期稳定，那就是PID的问题，需要 ...

NOD 应该是预置热问题

linna9222 · *发表于* 2014-4-4 21:06:10

束斑调大些，速率调整的速度要慢些，调整值大些，调整幅度越小速率起伏的越大。

Fly飞 · *发表于* 2014-5-1 10:28:01

看看SIO的电子枪调功器有没有问题？

liyesheng22 · *发表于* 2014-6-2 23:33:25

hrhhrh · *发表于* 2014-6-3 07:55:38

1.料的问题
2.枪的问题
3.预熔的问题

yzhuang · *发表于* 2015-3-14 19:08:59

PID问题的可能性大

maray · *发表于* 2015-3-23 15:53:32

李昌瑞 · *发表于* 2015-4-4 15:26:57

现在我这边也是这个问题。PID 调节了预熔功率也调节了反应不是很理想 SIO2波动大有时候曲线波长跑动很多。很郁闷你那边这个问题解决没有？ PID调节后是有好转扫描方面我也考虑过但是效果不是很理想

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