镀膜速率太高对膜有什么影响？

fql3310 · *发表于* 2012-6-27 21:10:13

SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

gxfdllg · *发表于* 2013-4-10 09:54:18

fql3310 发表于 2012-6-27 21:10
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

谢谢，SIO2蒸发快为什么膜会疏松？

gxfdllg · *发表于* 2013-4-10 09:56:17

飞鸿腾达发表于 2012-5-4 20:50
这个要看什么材料的哈，如高固态的材料，建议束流低一点，高的话，膜的结构很松不紧密，表面光洁度很粗糙， ...

谢谢，那SIO2蒸发快膜会疏松吗，为什么？

fql3310 · *发表于* 2013-4-10 21:35:49

SIO2蒸发快,膜层也会致密,压应力比一般速率镀的要大点,

飛兲寶赑 · *发表于* 2013-4-16 18:11:01

快了会调膜

xiao2011 · *发表于* 2013-4-16 22:16:45

huoredexin · *发表于* 2018-7-22 10:32:35

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