镀膜速率太高对膜有什么影响？

fql3310 · 发表于 2012-6-27 21:10:13

SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

gxfdllg · 发表于 2013-4-10 09:54:18

fql3310 发表于 2012-6-27 21:10
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

谢谢，SIO2蒸发快为什么膜会疏松？

gxfdllg · 发表于 2013-4-10 09:56:17

飞鸿腾达发表于 2012-5-4 20:50
这个要看什么材料的哈，如高固态的材料，建议束流低一点，高的话，膜的结构很松不紧密，表面光洁度很粗糙， ...

谢谢，那SIO2蒸发快膜会疏松吗，为什么？

fql3310 · 发表于 2013-4-10 21:35:49

SIO2蒸发快,膜层也会致密,压应力比一般速率镀的要大点,

飛兲寶赑 · 发表于 2013-4-16 18:11:01

快了会调膜

xiao2011 · 发表于 2013-4-16 22:16:45

huoredexin · 发表于 2018-7-22 10:32:35

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

huoredexin huoredexin 当前离线积分 400 IP卡狗仔卡头像被屏蔽	发表于 2018-7-22 10:32:35 \| 显示全部楼层提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
huoredexin huoredexin 当前离线积分 400 IP卡狗仔卡头像被屏蔽
	回复支持反对使用道具举报显身卡

[讨论] 镀膜速率太高对膜有什么影响？