脱膜原因分析和解决方法

xiaolvzi · *发表于* 2004-9-24 04:13:00

前处理？通常指基片清洗，还有别的吗？

xiaolvzi · *发表于* 2004-9-24 04:21:00

基底与膜料的匹配，倒是挺值得研究。形成化学键合固然好，可是如何选择这种合适的膜料呢？比如在lbo晶体与哪知膜料匹配更好？

蘑菇 · *发表于* 2004-9-25 06:22:00

蒸鍍時的速率與水汽油汽的附著還有前處理的步驟扎不扎實都會影响的吧!

小小拙見還請指教

超级狐狸 · *发表于* 2004-9-25 20:14:00

以下是引用zxp163a在2004-9-23 19:35:28的发言： 我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

你所说引力应该就是应力吧，工程力学中只有张应力和压应力的说法呀

xiaohe · *发表于* 2004-9-27 16:48:00

应该是说应力吧.

rainyweek · *发表于* 2004-9-27 22:37:00

请问材料的折射率大小或者材料特性对应力有影响吗？可以归纳一下这两者的影响趋势吗？

heyanch · *发表于* 2004-9-28 00:29:00

我认为如果是局部脱落.可能是清洗的问题,或是基片表面状态不一致.当然也有反油的可能.

heyanch · *发表于* 2004-9-28 00:32:00

以下是引用zxp163a在2004-9-23 19:35:28的发言： 我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

应力

x_x_x_f · *发表于* 2004-9-28 17:27:00

蘑菇: 蒸鍍時的速率與水汽油汽的附著還有前處理的步驟扎不扎實都會影响的吧!

请问蘑菇：蒸镀时的速率和脱膜的关系是什么呢？速度越快越容易脱膜么？

zjtzzy · *发表于* 2004-9-29 18:44:00

蒸镀时的速率和脱膜的关系应该比较小吧，只有很大或很小的速率才会影响，平时不会造成脱膜。当然在应力大时，有时会造成脱膜。

xiaohe · *发表于* 2004-10-9 17:36:00

大家说的都有道理，学到新知识拉，谢谢呀！！！

nittohai · *发表于* 2004-10-23 23:16:00

请教各位大侠，只有两种膜料TaO2与Sio2，基地直径95*0.3mm，层与层之间脱膜是何缘故？

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