片子上的点子？

发表于 2006-3-8 21:15:00 |只看该作者
好像不同的蒸发速率也会导致出现这种状况，我公司有两台设备就出现类似问题，同样的膜料用在不同的设备上，由于两台设备电子蒸发速率不同，导致一台设备镀出来有问题，而一台则没有，当时也很费解，后来换了不同厂家的sio2（运气好）才解决。
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请问用的哪家的SIO2谢谢

楼主说了同一圈的，有的有有的没有。那很明显就是镀膜前发生的问题。
要么是表面没有擦干净，要么就是粗抽的时候灰飞上去的。

麻点有很多原因，
镀膜前的原因：如基板表面没清洗干净，或者镀膜前沾上的灰
镀膜时的原因：比如说材料预熔不好，产生材料的飞溅，
镀膜后的原因：比如说基板表面带静电，破真空时沾上了灰，或者是冷阱回温造成的沾灰