膜层老是脏，咋个回事呢

jixiaoming · *发表于* 2009-8-10 09:55:50

哦，是膜层掉了，留一个小块，就没有膜
是基板脏了么

wsminmin · *发表于* 2009-8-10 15:45:59

我觉得六楼和九楼说的在理

sunyan · *发表于* 2009-8-10 21:42:33

真空室太脏了吧！！！！！！！！！！！！！

lgciom · *发表于* 2009-8-12 20:35:18

看口音象是云南人......

zzzz · *发表于* 2009-8-13 12:55:38

局部掉膜可能是基板问题............

jixiaoming · *发表于* 2009-8-14 11:25:31

就是小圆点
有时候，是脱模

zzzz · *发表于* 2009-8-14 16:55:52

针眼???????????????????????????????????

lao7_tao · *发表于* 2009-8-16 13:43:57

扩散泵返油吗？
圆点，另外还整片脱膜

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