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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

回复|共 13 个

lxf0103 Lv.6 发表于 2009-9-1 17:02:19|广东 | 查看全部
我们做的AR和HM及RM,PBS中都没给冲过啊!~~
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lao7_tao Lv.7 发表于 2009-9-1 20:30:25|河南 | 查看全部
如果要制备无吸收薄膜时，还是要充一些的。我们充5SCCM即可。
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