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楼主: sunyan

镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

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lxf0103
发表于 2009-9-1 17:02:19 | 显示全部楼层
我们做的AR和HM及RM,PBS中都没给冲过啊!~~
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发表于 2009-9-1 20:30:25 | 显示全部楼层
如果要制备无吸收薄膜时，还是要充一些的。我们充5SCCM即可。
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