我几篇zygo有关文章

太多啦！！！！！！！！！！！！！！！！

牛人，一下发了这么多，慢慢看了。看完再来交流

工厂花130万把东西买来啦，高精度的平面、球面等你检测，压力大自然拼命学。大量产品是的用激光平面干涉仪检测的，只是有争议才上zygo，一般凭经验判断光圈偏严。当时验收zygo时，1/30波长精度是在半夜市电稳定，恒温然后等到气流稳定，参考镜镜距离标准镜1/2英寸，测量很多次，其中有10次取平均值，pv值是0.04光圈，0.066就合格，rms0.005光圈。我们在设定测量系数时为0.5，pv值读的是光圈。平时白天人多你会发现一次测量一个数，稳不住。不规则不变，趋势不变；测外协还检过柱面镜的母线和半径；检过小玻璃珠，转动看的，不会子孔径拼接技术；测过一米焦距的镜头轴上像质的泽尼克多项式，球差严重，但传函值却达到衍射极限；80平晶带胶柄时可以看到火漆点的应力，装配高反镜面用硅橡胶可以看那应力大，那个螺钉过紧。这些都是日常工作，有挑战的是做补偿镜或全息版检非球面。

好多啊，太感谢了，楼主真乃强人

谢谢分享谢谢分享谢谢分享谢谢分享

很好很好很好很好很好，
看着很晕，看着很晕

楼主太无私了~感动，都是绝好的资料，感谢！~~~！！！！！

...要是全下完... 已经没金钱了~

请问楼主，ZYGO 的调校，校验精度是如何一个过程，周期多少呢？谢谢~有没有相关资料~

你注意到没有，我说验收时：参考镜镜距离标准镜1/2英寸，测量很多次，其中有10次取平均值，pv值是0.04光圈，0.066就合格。开始我们象测量产品那样把参考镜镜随便放在300毫米左右，干涉仪平面精度达不到1/30，质量不合格？专家来了，将参考镜镜放在快贴到标准镜了，说测试条件参考镜镜距离标准镜1/2英寸。我们测一次不好，他打开测试设置，连侧10次，打开报告显示10次结果和均值，均值合格。当时房间不是恒温间，条件不具备，用空调升温不行，温度梯度，气流稳定都有要求。检定不像测量，十分叫真。我们仪器检定周期一般是1年，进口顶级仪器像瓦里安的分光光度计是请省计量局检，当然检不了那么高精度，但按制度要求检了。美国的传函仪干涉仪没法检定，当前光学量值传递不是强制，工厂不想请西安光学1级站来检定。

楼主很用心！
谢谢
下载了

太好了，谢谢各位前辈