脱膜原因分析和解决方法

 火...

回复|共 97 个

yishu-chang Lv.3 发表于 2005-12-10 23:42:00|台湾 | 查看全部

機板材質影響很大,PMMA加熱溫度有限,不易操作請慎選靶材

ZEONEX機板材鍍膜後不易脫膜

light_0405 Lv.8 发表于 2005-12-13 00:25:00|上海 | 查看全部
有可能是薄膜应力引起,建议调整膜料组合,或者镀缓冲层
宇轩 Lv.8 发表于 2005-12-13 05:44:00|广东 | 查看全部

如果是比较严重的脱膜的话就很有可能是膜料里有油污使之蒸镀上去了

比如甘锅上有油渍,在镀的过程中使甘锅挡板上带有油渍的膜料掉在甘锅里

然后蒸镀在基片上,这样的话就会造成严重脱膜。

我就碰到了这种情况

zzzz Lv.10 发表于 2005-12-14 18:30:00|广东 | 查看全部
造成的因素太多了,具体情况具体分析
gwl-1968 Lv.8 发表于 2005-12-18 17:30:00|广东 | 查看全部

只有三点才会脱膜:1)基片上架前清洗不干静,或是上架时受到污染。

         2)离子源能量与所镀膜料成膜时的应力不匹配。

         3)蒸发速率过大,导致膜层结构疏松。

          其它的都是无稽之谈!

mgf2镀个500NM就不中了 
发表于 2012-9-9 02:46
TATA深海蓝 Lv.7 发表于 2006-1-23 06:32:00|上海 | 查看全部
镀完没有,芯取以后有怎么办?
刁世贵 Lv.2 发表于 2006-2-7 23:42:00|广东 | 查看全部

真正的原因

大家说了这么多,都没有说到脱膜的真正原因。为什么清洁度及其他因素会因影响膜的脱落
alonso Lv.8 发表于 2006-2-10 05:57:00|福建 | 查看全部

好象没有太大帮助

有真正对镀膜,材料,结构都明白的人吗?

这样的人才权威!!

jufeng Lv.6 发表于 2006-2-10 18:50:00|河南 | 查看全部
基片清洁、烘烤温度、真空度是主要原因。如果返油的话,会大面积脱落。
evanxm Lv.6 发表于 2006-2-12 10:12:00|福建 | 查看全部

这些都是针对玻璃镀膜,请问对塑胶镀膜,不可能在烘烤时温度过高啊!只能在前处理时,用合适的清洗液清洗干净,镀前再用离子源进行轰击,增加表面活性么?但更多的是经过烘烤后出现膜裂现象,该怎么处理呢?

xiaohe 楼主Lv.8 发表于 2006-3-3 19:30:00|安徽 | 查看全部
说的没错每道工艺都会对成膜有影响的。
mxb010ak47 Lv.9 发表于 2006-3-6 22:47:00|江苏 | 查看全部
脱膜的问题牵涉许多因素,基片洁净度,基片材料属性,膜层间的应力配合,真空室是否有返油(针对油扩散泵设备而言)等等

回复

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

投诉/建议联系

admin@discuz.vip

未经授权禁止转载,复制和建立镜像,
如有违反,追究法律责任
  • 关注公众号
  • 添加微信客服
Copyright © 2026 光电工程师社区 版权所有 All Rights Reserved. Powered by Discuz! X5.0 Licensed 鄂ICP备17021725号-1
关灯 在本版发帖
扫一扫添加微信客服
返回顶部
快速回复 返回顶部 返回列表