SI材料蒸发喷溅问题

starofage · 发表于 2010-10-10 20:39:55

请教各位大虾，我在用电子枪打SI的时候老是喷溅啊，束流小了又蒸不动，请问有什么好办法吗？谢谢

ychm1002 · 发表于 2010-11-1 22:10:37

什么材质坩埚，可以用钼坩埚试试

xinliangrizhao · 发表于 2010-11-2 15:59:54

实际的蒸镀束流，速率有多少？SIO2很好蒸啊。

new1980 · 发表于 2010-12-14 11:08:30

电子枪蒸SI不太好

终南子 · 发表于 2010-12-16 22:13:01

第一、材料要预熔透，预熔和蒸镀的时候电子束光斑不要打到坩埚上
第二、蒸镀的时候电子束光斑要稳定在坩埚中间
第三、蒸镀的时候蒸发速率不要太高
做到以上三点，一般就不会发生喷溅了

zofy · 发表于 2010-12-17 10:22:27

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楼主蒸发的是SI啊，用钼锅试试

xinliangrizhao · 发表于 2010-12-19 13:39:14

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哦，SI还可以蒸的吗，不都是溅射SI吗？主要在那些方面应用？

[技术] SI材料蒸发喷溅问题