[原创] 英国loadpoint晶圆/掩膜板清洗机

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发表于 2011-3-3 16:33:57|北京 | 查看全部 阅读模式
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Washpoint是立式整体清洗和干燥系统, 用于切割,
划片或其它加工过程的晶片/基板清洗和干燥,
适于研发和批量生产,最大工件尺寸φ12“/φ300mm。
任意设定循环时间,水压,气压,温度等工艺参数,
适于各种组件要求的清洗和干燥工艺。
自动模式,按编程设定的程序,自动进行清洗和干燥过程。
手动模式,可以独立控制所有工艺的进程。
Washpoint的设计确保快速,稳定,易于维护。

中国代表处:www.chihochina.com

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