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[讨论] SIO蒸发速率

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发表于 2011-3-22 00:43:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位同行,请问大家镀过的SIO的速率是多少呢,如果电流太大的话SIO会飞溅,影响大吗
发表于 2011-3-22 09:16:32 | 显示全部楼层
0.6-0.8nm/s
 楼主| 发表于 2011-3-22 22:03:57 | 显示全部楼层
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那么高啊,我们之前做过0.2-0.4,SIO都飞溅的很厉害,放的料都散了,导致厚度还不够,是不是我的蒸发源太浅了呢
发表于 2011-4-1 10:38:04 | 显示全部楼层
使用的是熱阻蒸還是電子槍阿?我們用得沒發生過飛濺阿!
 楼主| 发表于 2011-4-1 18:14:00 | 显示全部楼层
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使用的是阻蒸,可能我们电流太大吧,速率已经到了1-2A\s
发表于 2011-4-12 13:59:33 | 显示全部楼层
我们电子枪,蒸发速率到10了都没有溅啊
发表于 2011-4-12 16:34:40 | 显示全部楼层
SIO粉在热阻上用,开始时将钼片发底电流烧热(微红即可)待SIO结成块后可正式镀膜,速率般在6~10埃.SIO粒可以用电子枪打,速率高一点也不会喷.
发表于 2011-4-13 13:18:40 | 显示全部楼层
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说的没错,一般是0.6-0.8NM这样子。
发表于 2011-4-14 22:28:39 | 显示全部楼层
我们一般都用20A或以下
发表于 2011-4-21 09:51:27 | 显示全部楼层
嘉兴晶控电子有限公司坐落于浙江省嘉兴市余新镇镇北路23号,厂房面积7600平方米,员工100人,是一家专注于石英晶振片研发、生产和销售的科技企业。
JJK创建于2000年2月,主要业务是石英压电晶体生产和销售。2002年JJK逐步进入石英晶体振荡式传感器行业,主要产品为石英晶振片和石英晶体微太平。2005年,JJK成为了美国著名晶振片企业的晶振片基片配套企业。2008年,JJK引进美国真空镀膜机和检测设备。自主研发生产石英晶振片,并拥有自己的JJK品牌。主要有金,银、合金,5MHZ\6MHZ等18种规格的石英晶振片。品质稳定、价格合理、 交货及时、服务周到,深受国内外客户的青睐。产品适用于 光学、光电、LED 、半导体等行业的镀膜监控,可完全替代进口的晶振片。
  为客户提供最可靠的晶振片是JJK不懈追求的目标 。为进一步满足客户的需求,JJK不断研发关联新产品,为客户提供多种价廉物美的镀膜材料如SIO2、TI2O3、TI3O5、MgF  h4 AL2O3等,另有晶控探头相关备件等。
   咨询电话 0573-83678773  15068338773  夏志国经理  QQ 1046118891

发表于 2013-9-11 15:58:03 | 显示全部楼层
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发表于 2013-9-17 17:25:14 | 显示全部楼层
俺这14A,很好,
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