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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学加工工艺及检测测试 › 测平面度

测平面度

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发表于 2004-2-23 17:09:00|北京 | 查看全部 阅读模式
有DAXIA用过 wyko RTI 4100/6100干涉仪吗？我想知道它可以测平面度吗？怎么测量？谢谢！
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回复|共 6 个

guangxuehao Lv.9 发表于 2004-2-23 18:27:00|上海 | 查看全部

测平面度

测平面度不是很难呀!!用样板或干涉仪均可!!
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jackonlee 楼主Lv.9 发表于 2004-2-23 19:47:00|北京 | 查看全部

测平面度

我知道呀！可使用样板的精度不够，我们这里有好几种测量的仪器，可是没有说服力。既然有Veeco公司的仪器为什么不用呢？那样才有说服力，是销路更好。
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lczhy00001 Lv.12 发表于 2004-2-23 22:09:00|浙江 | 查看全部

测平面度

干涉仪竟然不会用“？？？？？？？？？？
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jackonlee 楼主Lv.9 发表于 2004-2-23 22:31:00|北京 | 查看全部

测平面度

由于它的程序太复杂，适用范围广。我们这里一直用来测量光学均匀性，不过我觉得干涉仪应该可以测平面度。是Veeco wyko RTI 4100 laser interferometer
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guangxuehao Lv.9 发表于 2004-2-24 05:37:00|上海 | 查看全部

测平面度

干涉仪不用,那你用什么测量平面度,那可是最高精度的仪器呀!
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laowupo Lv.10 发表于 2004-2-24 10:47:00|福建 | 查看全部

测平面度

你把镜头拿掉，再把需测平面度的物件放在检测台上，调整他们的距离，试一下
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