[讨论]膜料的稳定性

ofeiying · 发表于 2003-5-31 19:13:00

有哪些镀膜材料的稳定性不好,哪些膜料不易搭配?
请指教!

ic5 · 发表于 2003-5-31 22:19:00

膜料的稳定性和你的工艺环境有很大关系！你所说的稳定性是指哪个方面？物理性能？化学性能？

ofeiying · 发表于 2003-6-1 01:58:00

不妨两种都谈谈!

ic5 · 发表于 2003-6-1 16:52:00

物理性能可以和蒸发速率、基板温度、成膜环境（有无离子源）等有关系。
化学性能和充氧量、膜料的吸收等有关系！（化学性能又膜料的特性决定）

ofeiying · 发表于 2003-6-1 17:58:00

那么这些膜料的稳定性能够影响到膜层质量的哪些方面呢？

my-sky · 发表于 2008-12-2 13:13:48

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