沉积速率在线测试系统

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发表于 2003-3-25 02:44:00|陕西 | 查看全部 阅读模式
     大家有谁了解国内哪儿有镀膜沉积速率在线测试系统?好象都是膜厚的在线测量,但没有速率测量机呀。

回复|共 3 个

ababab Lv.9 发表于 2003-3-25 03:00:00|福建 | 查看全部

沉积速率在线测试系统

晶控都可以测沉积速率。如MDC,XTC等。

勤学好问 楼主Lv.2 发表于 2003-3-25 17:50:00|陕西 | 查看全部

沉积速率在线测试系统

   谢谢楼上的指导。能不能再具体介绍一下这方面的?
hakuto Lv.6 发表于 2003-11-24 18:48:00|北京 | 查看全部

沉积速率在线测试系统

想要关于MAXTEK MDC的控制仪,请与我联系:010-65660071或andyliu@hakuto.cpm.hk

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