关于束流偏转

[10] 在大多数场合下为了得到最佳效果单靠一块永久性磁铁或固定的磁场来调整电了束到坩锅里某一固定点是不能都做到的。电了枪打到膜料的点称为碰撞点。为了使电子束能打到坩锅的任一点，在永久性磁铁上添加了两个产生相互垂直磁场的电磁铁，这样可以改变束流横向、纵向的位置，在一些设置中只用了电磁铁来调整束流位置，但是加上永久性磁铁在电磁铁损坏时将使束流偏转到坩锅中心位置附近，从而提供保护，如果不采用永久性磁铁，那在那种情况下可能会损坏电枪、真空室或其它设备。
为控制偏转磁场采用电子元件，束流通过偏转线圈使磁场恒保持任一所需的参数，从而吏束流固定在所需的位置上，尽管因偏转线圈的温度改变而导致其电阻发生变化。
X、Y偏转的电流分别由一个功能块提供。通过对电子枪的操作可检查偏转功能是否正常。
通常电子束超前聚焦或散焦在蒸发膜料过程中是不希望遇到的，这种情况下可采用调整X、Y扫描偏转电流的措施，当振荡只在一个方向上时，其扫描轨迹为一条直线，同时电子枪的功率密度也低了。由于交流元件相位延迟约90度，因此产生近似椭圆或圆的光斑轨迹。这方面操作所需的元件和电光偏转单元或附属调制传送器相联。磁场偏转线圈通常固定在装在电子枪或坩锅两铁之间的真空下牢固的不锈钢架上，因此只能看到电的联接部分。
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