向VEECO高手求助

阿坤

各位大狭：由于我们的VEECO机12CM离子源电源2070损坏，导致辅助离子源无法启动，我曾尝试单独点起16CM主离子源 来工作，实际操作中发现16CM离子源也可点起，但电压波动很大，根本无法beam on,我怀疑是该设备电网的设计是针对两个离子源的，缺一个，电压匹配不好，或者可能有别的原因，不知各位大狭是否有此经历，单独点一个离子源一定无法工作吗？

QZ99

VEECO机的两套离子源是完全独立的,可能有其他问题,要更详细情况

风寒雪月缺

离子源的工作原理极其点源问题-veeco