关于光学镀膜机均匀修正板的设计

socxiaobin · 发表于 2012-4-24 11:02:22

经验多试验的次数就少，新手就多多试试，根据所测位置不同的膜厚再进行相应位置的修正。

lzh123jy · 发表于 2012-5-23 23:55:08

xiao2011 · 发表于 2012-5-24 08:08:11

还要考虑到你机台的大小，来决定难度

精诚光学 · 发表于 2012-5-27 15:17:11

zhesky · 发表于 2012-7-26 18:00:51

好深奥，看不懂，谢谢，学习中

copland · 发表于 2013-3-19 11:10:54

446834285 发表于 2012-3-17 08:14
MASK没有一成不变的，随着设备的使用周期会逐渐产生变化。。首先，你的知道一些最基础的理论，然后练手感（ ...

什么时候有空啊，传上来学习一下，谢谢了！

飛兲寶赑 · 发表于 2013-4-2 21:43:51

mask有专业的计算方法

良哥 · 发表于 2013-4-3 11:00:08

可以看看霹雳猫在小弟帖子里回复的附件。多看几遍，做一次肯定有收获。

LOUYC · 发表于 2013-7-11 14:01:08

学习了

qs2784 · 发表于 2013-8-19 23:23:52

霹雳猫大虾真是好人学习了

飛兲寶赑 · 发表于 2014-3-9 21:24:56

lovemannyzhu · 发表于 2014-4-2 20:52:18

最上边（国产机这种设计的很多）。也可以用公共的修正板（放于百叶窗那边，那种设计在APS904镀膜机上见过）。修正板的作用就是把工件盘里的所有的片子厚度修得差不多一样就是了。从单一膜料开始修正（高拆射率材料）。厚度选500纳米或少点吧。然后再修SIO2，膜系可以这样（HL）^2 H 4L H (LH)^2 L,这个其实就是这样。不管什么机器，几个电子枪就几个修正板（也可以用公共修正板）。有见过两枪共镀或三枪共镀的，这种修正板另外说。高拆射率材料修正板可修得少点。这样拆射率可以做得高点。修正板可以修到5纳米以下。

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