关于滤光片发雾的问题

zofy · 发表于 2011-6-11 21:13:30

用78*78*0.3的D263基片镀滤光片后在60W灯光下检查有发雾的现象，整面都有，请问各位是不是镀膜的原因？？

如果是会是哪几方面的原因呢？镀膜时温度310，实测为280

膜料更换后也有发雾现象，是不是清洗不干净呢??

请高人指点，谢谢！

zofy · 发表于 2011-6-12 18:15:12

longmin · 发表于 2011-6-12 22:38:05

鍍前檢查有異樣嗎

E501559 · 发表于 2011-6-13 18:13:47

1、是否洗干净；
2、膜料是不是换过批号或供应商；
3、真空度，温度等问题，逐一排除

xiao2011 · 发表于 2011-6-13 21:13:45

zofy · 发表于 2011-6-14 08:31:08

E501559 发表于 2011-6-13 18:13
1、是否洗干净；
2、膜料是不是换过批号或供应商；
3、真空度，温度等问题，逐一排除

sio2我更换过，也把Ti3O5换成过Tio2，还是有雾
Ti3o5的真空度从1.4*-4toor，改为1.6*-4toor ,1.8*-4toor,2.0*-4toor均无改善
温度从310降为200度时也一样，无明显改善

zofy · 发表于 2011-6-15 19:34:28

ghtzna · 发表于 2011-6-17 10:39:52

速度多少？
靶材预融怎样
你能把你那个制程参数更详细的说出来
机器是哪家的？

yufe16fisher · 发表于 2011-6-17 12:55:24

基片是否有烤干？延长烘烤时间。

zofy · 发表于 2011-6-18 21:43:29

ghtzna 发表于 2011-6-17 10:39
速度多少？
靶材预融怎样
你能把你那个制程参数更详细的说出来

QQ: 67049788 请多指点，谢谢！

ghtzna · 发表于 2011-6-21 13:45:37

zofy 发表于 2011-6-18 21:43
QQ: 67049788 请多指点，谢谢！

甭把你的技术当成机密了，兄弟。要开放一点

HGcoating · 发表于 2011-6-23 11:24:25

基片没清洗好，或方法不对

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