请问大家一个关于冷凝泵温度问题？

E501559 · *发表于* 2011-6-24 09:12:56

冷凝泵在再生之后，温度在12K左右（未抽气），在工作的时候（抽气的情况下）温度会有很大的差别，上升到15K~20K，这是一个正常问题，还是有什么潜在问题，该怎么解释这一现象？请大家帮忙讨论！

whpe2000 · *发表于* 2011-6-24 11:48:33

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optofilm2002 · *发表于* 2011-6-24 12:35:02

说明不是真空室漏就是冷泵性能有问题, 正常的话冷头的温度变化不会超出16K, 到20K就必须再生了.

jxsp · *发表于* 2011-6-24 13:25:18

各位用的是哪个厂家的冷泵啊

jiayuch · *发表于* 2011-6-24 14:58:57

你的冷泵有问题了，先看看压缩机压力是不是不足

E501559 · *发表于* 2011-6-25 12:21:53

jxsp 发表于 2011-6-24 13:25
各位用的是哪个厂家的冷泵啊

美国CTI的和日本住友的你们呢？

E501559 · *发表于* 2011-6-25 12:25:37

whpe2000 发表于 2011-6-24 11:48
这是很正常的现象,说明你真空室开的加热温度比较高,同时你的工艺气体流量也比较大

真空室开的加热温度高和工艺气体流量大会影响冷凝泵温度，这我知道的，问题是只是在抽气的情况下，温度就开始发生变化？

E501559 · *发表于* 2011-6-25 12:28:16

optofilm2002 发表于 2011-6-24 12:35
说明不是真空室漏就是冷泵性能有问题, 正常的话冷头的温度变化不会超出16K, 到20K就必须再生了.

要是再生后，温度20K，是不是说明泵内的活性碳吸附的水汽太多或失效，需更换活性碳；还有就是活塞太脏，导致温度高？

jxsp · *发表于* 2011-6-26 10:41:04

我厂是国产的,唉不用提了,惨不忍睹.三帕开高阀到2*10-3要130分钟,真空室从20帕到3帕一分半钟，真空室是不锈钢,冷泵厂家搞了一年也搞不好,现在是肠子也悔青了

E501559 · *发表于* 2011-6-27 08:57:39

jxsp 发表于 2011-6-26 10:41
我厂是国产的,唉不用提了,惨不忍睹.三帕开高阀到2*10-3要130分钟,真空室从20帕到3帕一分半钟，真空室是不锈 ...

啊！那的确是有点......;那你们用的前级真空泵又是哪家的啊！效果那么差，需要改进......
我们用的是莱宝的和阿尔卡特的，效果蛮好的，10分钟真空度到6*10-2开高阀，再5分钟真空度到10-5，一般在1~2小时真空度到2.0*10-6或更好。真空室是不锈钢的。你们用制冷机吗？哪家公司的？

Guoyl · *发表于* 2011-6-27 10:17:55

镀膜机维修,泵维修.TEL:13331858837

HGcoating · *发表于* 2011-6-27 12:48:43

我们的冷凝泵在镀膜时温度达到27，28啦，抽2个多小时才到1.2*10-5 mba。用一年时间都不到。。。。。

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