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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 谁能提供镀制工艺参数

谁能提供镀制工艺参数

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发表于 2004-4-11 03:38:00|吉林 | 查看全部 阅读模式

我要镀制激光反射膜

膜料是Ta2O5和SiO2
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回复|共 5 个

cjyzq Lv.8 发表于 2004-4-13 06:55:00|吉林 | 查看全部
镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2 。
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马大嘴 Lv.6 发表于 2004-4-13 18:02:00|河南 | 查看全部

镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2

波长？？？？膜系？？？？？？？？？？

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快乐小鱼 Lv.6 发表于 2004-4-16 04:37:00|河南 | 查看全部

马大狭：请问激光反射膜的波长多少为最合适？

谢谢！

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cjyzq Lv.8 发表于 2004-4-16 05:07:00|吉林 | 查看全部

激光膜的种类（Laser)波长：

F2---157nm

ArF---193nm

KrF---248nm

Xecl--308nm

Xef---351~355nm

He-cd---325nm

N2---337nm

Ar---351~364nm

" 激光反射膜的波长多少为最合适？" 看你做那一波长（多点）的激光反射膜，根据波长点（多点）的要求进行膜系设计。

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yzhuang Lv.8 发表于 2004-4-29 03:17:00|江苏 | 查看全部
为减少吸收，镀激光反射膜最好用ZrO2,SiO2
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