关于25层的膜系

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发表于 2004-5-10 17:14:00|河南 | 查看全部 阅读模式

我现在镀1063nm R99.6膜用TIO2 SIO2需要25层 时间太漫长 那位大侠有高招望指点 感激

回复|共 4 个

wdmli Lv.6 发表于 2004-5-10 17:53:00|湖北 | 查看全部
好像不用镀这么多层吧?你用什么工艺镀的?
yin99 发表于 2004-5-10 19:00:00|安徽 | 查看全部
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lazulite Lv.5 发表于 2004-5-10 20:30:00|台湾 | 查看全部

试试Ta2O5(IAD)+SiO2吧

TiO2成膜结晶控制较不稳

马大嘴 楼主Lv.6 发表于 2004-5-10 23:51:00|河南 | 查看全部
以前镀15层 R是98   现在根据 客户的要求有加了十层 测试结果还行。可是合格率不是很高  估计和TIO2的吸收有关    大家对控制方面有什么心得??

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