氧化物电子束镀膜怎样防止失氧

qhbd · 发表于 2004-6-18 22:02:00

氧化物电子束镀膜怎样防止失氧？即使补氧后还是失氧，这跟基片温度、成膜速率有什么关系？哪位有经验的朋友帮帮忙？谢谢了。

qhbd · 发表于 2004-6-18 22:04:00

补充一下，主要是五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化锆等，是不是温度越高越好？

coatingli · 发表于 2004-6-18 22:11:00

当然是与温度，充氧量，充氧位置，蒸发速率息息相关的。温度高低要参考基片材料以及原始工艺参数。您所说的三氧化二铝应该不会失氧的，不许要充氧蒸发。

Jesus · 发表于 2004-6-18 22:32:00

同意coatingli的说法,具体的工艺要自己去摸.

你可以通过不同工艺测试的反射和透射率,来验证你的膜层的吸收,进而对你的材料的失氧吸收进行估算,从而得到比较合适的工艺条件(针对失氧)

qhbd · 发表于 2004-6-18 22:46:00

谢谢两位，

zz · 发表于 2004-6-20 06:02:00

如何估算失氧吸收????

coatingli · 发表于 2004-6-21 18:00:00

先测透射曲线。再测反射曲线，转换成透射曲线。两者相比较就可以得出了。

zz · 发表于 2004-6-22 04:44:00

这方法只能估算.