LfakjBJ1.doc
2004-7-27 17:56 上传
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zernike系数是表征光学系统波形差的像质参数,一般的光学仪器检测中是没必要的,只需要校正常用的几何像差就可以了。但是在高精度光学投影物镜中(比如光刻机的投影物镜)像质校正是需要用的到的。
zernike系数的计算以及物理意义可以在波恩的《光学原理》中看到。zernike 系数是在光瞳面上对波面进行zernike多项式的拟合,拟合的系数就是zernike系数,不同阶数的zernike系数代表不同的像差
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