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[资料] 基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器

发表于 2011-10-8 09:47:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。

基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器.pdf (295.41 KB, 下载次数: 1)

传感器, 检测, 光学

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