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非常感谢,解决了!
有空大家可以多交流!!
gg780210@yahoo.com.cn
主要看有没有超薄层,按照设计的几个基本原则做就可以啦!
层数尽量少,膜料尽量少,材料适合制备,比较稳定!
选择哪种优化方法都可以,不过最好少用最后那种算法,结果是超薄层多!!!
看来楼上是高手啊,还有没有别的真知灼见啊!
我在优化的时候非常头痛超薄层,因为不好控制,请问有没有什么办法啊!
用lock功能啊!!!
如果機器好的話,有1-2個薄層應該問題不大,我做過10nm左右的薄層,還可以,至於幾個nm的就不太清楚啦,我以前用shincron的SID-1100D。
薄層是在萬不得已的情況下才用的,盡量優化的厚一些!
又碰到一个菜鸟问题:我在Design表中的Thickness一栏中,输入一个数字,它总是给我变掉,要乘上一个系数,我又找不到这个系数倒底藏在哪儿?
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