膜层光学厚度 nd = 1/4 * w , n 为材料的折射率,d为物理厚度,w是光波长。
1. 是相对特定波长 w 而言的 (如,对于窄带滤光片,通常是指其中心波长)。
光(波长为式子中的 w)从一端走到另一端,其相位变化 1/4 * 2pi = pi/2 (弧度)。
对于膜系设计来说,是构成膜系的基本单元,此时的w 为设计波长或称中心波长,
一个1/4波长,常用单个字符 H (高折射率),L(低折射率), M(中间折射率)来替代。
2. 对于光学镀膜过程控制来说,如果起点是该波长的极值点,那么终点也将是极值点。称作一个极值(厚度)。
3. 对于控制物理厚度的晶控仪来说,
d = 1/4*w /n , n为该波长处的折射率,
将结果厚度 d 输入晶控仪即可。控制时基本无需考虑其前面的膜层结构。
(以上讨论忽略了 样品与监控之间的 比例) |