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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 薄膜退火

薄膜退火

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发表于 2004-9-24 00:01:00|上海 | 查看全部 阅读模式
薄膜退火后起皮脱落了，真是纳闷呀？
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回复|共 15 个

zxp163a Lv.8 发表于 2004-9-26 02:58:00|江苏 | 查看全部

那可能是基底的原因，我在某些晶体上镀单层SiO2时也出现过类似情况

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超级狐狸 Lv.9 发表于 2004-9-24 00:22:00|山东 | 查看全部
退火是什么意思？？冷却吗
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sanjie Lv.4 发表于 2004-9-24 00:24:00|福建 | 查看全部
在空气中自然冷却？？
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zxp163a Lv.8 发表于 2004-9-24 03:26:00|江苏 | 查看全部
可能是镀膜工艺存在问题，另外退火的温度对于膜层来说是否太高？冷却是否太快？
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xiaolvzi 楼主Lv.8 发表于 2004-9-24 04:25:00|上海 | 查看全部
随炉冷却的，300度不算高，是sio2膜呢
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蘑菇 Lv.7 发表于 2004-9-25 06:26:00|台湾 | 查看全部

建議冷卻時間加長，溫度在降低些 試試

小小拙見 還請指教

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heyanch Lv.8 发表于 2004-9-28 00:20:00|北京 | 查看全部

基底材料是否匹配\温度过高\或冷却太快都可能.

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heyanch Lv.8 发表于 2004-9-28 00:22:00|北京 | 查看全部

基底材料是否匹配主要有:

晶格匹配和热学参数.

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zjtzzy Lv.7 发表于 2004-9-29 18:54:00|浙江 | 查看全部
这种情况下，主要原因是镀膜时造成应力太大而脱膜。
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hoogoogol Lv.12 发表于 2004-9-29 20:51:00|北京 | 查看全部

技术不到家

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matta Lv.8 发表于 2004-9-29 20:55:00|上海 | 查看全部

呵呵 呵呵 楼上说的对 当然是技术不到家了

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