显微镜分辨率

jerrygmj

各位XDJM
显微镜的分辨率怎么测试啊？

有卖测试卡的，但是最高到600pl/mm，  1/600=0.16微米，可是一般40X显微镜物镜分辨率是0.6微米。

我不知道怎么回事？

哪位大侠帮我解释一下，或者哪里有线对数更高的测试卡

谢谢

jerrygmj

whu_zj

USAF最高就是645线对每毫米.
1.如果你常用,可以去微电子所做一批,电子束曝光.可能要自己layout.
2.另一个选项是测试645线对的MTF(简单测对比度即可), 看看能否到0.5. 就算你拿到1000LP/MM的版,你还是要这样测MTF才能确定是否合格.
3.托人给你找一块半途废掉的wafer,应该有很多1000LP/MM尺度的图案.
有什么更好的方法大家可以交流.

jerrygmj

谢谢楼上的回复

mylifeday

回答的好好，我也学习了

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