[转帖][原创]有關非球面面型測量的討論

Horky

<P>非球面測試有三種方法：</P>
<P>   1.Profilometry   典型就是Form TalySurf</P>
<P>   2.Interferometry   幹涉儀類的，這一類取決於Sensor的準確度，且復雜一點的非球面就需要CGH和Null Lens</P>
<P>  3.Shack Hartman Sensor(SHS),這個技術還不成熟！</P>
<P> 還有就是使用Zernikes系數進行推導，這一點聽說蘇州大學的余姓教授對些很有研究，不知道各位是否能透點信息。</P>
<P>  其中第二項，就是CGHs和Null Lens太貴了，且要和測試件一一匹配，這是一個難點啊！</P>
<P>以上論點僅為拋磚引玉，希望大家暢所欲言！</P>

Horky

<P>解釋一下：CGH--Computer Generated Hologram  計算生成全息圖</P><P>                  Null Lens---零透鏡，有哪位從事這方面工作的也請發表高見!</P>

simem

<>第一项写错， 是Form TaylorSurf, 不好意思。</P>

Horky

<>三樓這位老大,我沒有寫錯,以下為証:</P><>完整為 The Form TalySurf, 他們公司叫Taylor-Hobson,</P><>網站為www.Taylor-Hobson.com,我想我們說的是一家吧!</P><>不知您對非球面測量有何高見?</P>

simem

<P>还是horky看得仔细，实验室里有两台TalySurf, 天天看偶还把它的名字记错。</P>
<P>测量球面，Zygo还是可以的。现在WYKO公司出来一台新的非球面非接触测量式的机器叫VEECO.</P>

Horky

請教Simem,WYKO公司的VEECO有什麼優勢,是不是也像FISBA和Zygo一樣要加補償片.FISBA可以測非球面量同最佳擬合球面(Best Fit Sphere)量的差量在30um以內的非球面,這也是靠他們儀器上的Sensor決定的,Zygo也類似了.但不知這個VEECO有什麼特點?

Horky

還有一個問題就是為什麼在測量時相關系數要轉向,且R值和多次項不同時轉向?

Horky

以上為相應轉向示意圖,可FTS測量時轉向並不是這麼回事!

Horky

圖怎麼貼不上?

Horky

補發!

simem

WYKO公司的VEECO优势是3维的非接触式测量，测量后给出3D的Map.

可以用来测量微结构阵列和微结构自由曲面，譬如导光板中的Micro lens array, 也可以测量非球面，但是测量非球面的范围没有TalySurf那么大。

Talysurf测量凹面时，R值和多次項不同時轉向，本人认为talysurf在测量凹面时候，它是把R当成是正的，就是说R值在仪器里已经被转了一次，所以自己需要把多项式转过来。刚开始我也想不明白这个问题。

simem

VEECO不需要加补偿片，它的非球面Fitness方式和Talysurf差不多。