有关两把枪蒸镀，厚度不均的问题

Jesus · 发表于 2004-11-3 17:12:00

如题，双枪蒸镀系统，但两把枪蒸发同种材料，分别做单层膜试验，光控波长相同，都走1/4波长，镀膜后的测试结果中心波长不同，甚至差别很大（100nm）。

请问大家是不是也有同样的现象，除了修正两个枪的挡板以外，还有没什么其他的方法可以使得两把枪在相同的光控波长下，镀膜测试波长（即镀膜厚度）一致？

另外，以前也提过一个有关不同蒸发状态的材料（比如SiO2,Ti3O5）,用同一把枪和同一块蒸发挡板可否同时实现较好的均匀性。

以上两个问题，请有任何想法的朋友不吝赐教，大家多多交流，也许就会有的办法解决各种问题。多谢。

Leesnow · 发表于 2004-11-7 05:39:00

单层膜容易有误差,建议多做几层,如果是光控的话,又是相同点,理论上不会有误差!

tangjindao · 发表于 2004-11-5 00:18:00

主要是受蒸发源的位置影响，

kuan · 发表于 2005-1-26 21:25:00

基本上每種材料的蒸發範圍不同

所以均勻性的分部情形也不同

如需多種材料蒸鍍需將傘差大的材料另做處理

如改善mask位置或升降方式

snebur · 发表于 2005-1-24 05:47:00

单枪单Mask可以得到良好地均匀性！不知您做的膜系有多少层！用的哪里地枪，哪里的设备？均匀性要求多少？

Jesus · 发表于 2005-1-24 20:36:00

楼上的朋友，如果我的膜系有四种材料呢？四种材料的蒸发特性不尽相同呢？单枪单mask可以实现良好的均匀性吗？

国产南光设备，随机自带电子枪，均匀性要求1%以内

光学论谈 · 发表于 2005-1-24 20:54:00

南光设备的电子枪光斑聚焦不是很好,而且易偏移.请楼主应考虑.

mxb010ak47 · 发表于 2005-1-24 21:54:00

调整工件转转速试试

zz · 发表于 2005-1-28 18:52:00

基本上单GUN单MASK

zjtzzg · 发表于 2005-2-6 00:58:00

单GUN但MASK要做到1%有点难度，主要调整MASK。

zz · 发表于 2005-2-7 17:37:00

8楼,如果镀多层膜多种膜料,那伞差不同的该如何修?

snebur · 发表于 2005-2-20 07:27:00

双枪，单mask，厚度是不均匀。收到没mask侧的蒸发源影响。建议增加为双活动mask！